Il est utilisé dans le traitement des cristaux d'arséniure de gallium (employés dans les téléphones mobiles, les lasers, etc.), comme agent de dopage dans les plaquettes de silicium et pour la fabrication de l'arsine gazeux (H3As), qui sert à produire les matériaux des superréseaux et les circuits intégrés hautes performances.

它被用于加工砷化镓（移动电话、激光器等中使用），为硅片的一种掺杂剂和用于超格物质和高性能集成电路的砷气（H3As）。